BAG402 Medium to Ultra-High Vacuum Gauge

BAG402 Medium to Ultra-High Vacuum Gauge

BAG402 Medium to Ultra-High Vacuum Gauge
El medidor simple de ionización de filamento Bayard-Alpert de
INFICON BAG402 cubre una amplio rango de medidas, que
comprende desde 5×10-10 mbar hasta 6,7×10-2 mbar (3,75×10-10 torr
a 5×10-2 torr). Elija el modelo INFICON BAG402 si busca un proceso
rentable y repetible que le permita realizar la medición de la presión en
un paquete compacto de medidores. El exclusivo sistema compatible
de doble filamento ofrece una mayor precisión y longevidad. La opción
de EtherCAT permite una sencilla integración en el sistema.
BENEFICIOS
„
Rango de medida desde 5×10-10 mbar hasta 6,7×10-2 mbar (3,75×10-10 torr hasta 5×10-2 torr)
„
Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso desde 10-8 … 10-2 mbar del 5%
„
La detección de la sobrepresión protege al filamento de un desgaste prematuro
„
Dos filamentos de larga duración de iridio con revestimiento de óxido de itrio
„
Interfaz de bus de campo EtherCAT disponible
„
La selección de la corriente de emisión reduce la complejidad de control
„
Un elemento sensor con datos de calibración a bordo garantiza un gran nivel de reproducibilidad
„
Cumple con la directiva RoHS
INFORMACIÓN DEL PEDIDO
1
BAG402 Medium to Ultra-High Vacuum Gauge
Tipo
BAG402-Sx
BAG402
BAG402 DSUB9 CF40
353-601
BAG402 DSUB9 KF25
353-600
BAG402-S CF40
353-603
BAG402-S EtherCAT CF40
353-605
BAG402-S EtherCAT KF25
353-604
BAG402-S KF25
353-602
ESPECIFICACIONES
Tipo
BAG402-Sx
BAG402
Rango de medida (aire, OೣCO, mbar
Nೣ
™೜{೔ಹ™೜²
™೜{೔ಹ™೜²
Rango de medida (aire, OೣCO, Torr
Nೣ
™೜{೔™೜²
™೜{೔™೜²
% of reading
±15
±15
% of reading
5
5
electron bombardment, max.
3 min
electron bombardment, max.
3 min
2
2
Precisión
೜೙ಹ೜² mbar
Repetibilidad
೜೙ಹ೜² mbar
Degas (1)
S™೜೗
Presión, máx.
mbar
bar (absolute)
Temperatura
Funcionamiento (ambiente)
°C
0 … +50
0 … +50
Almacenamiento
°C
-20 … +70
-20 … +70
Horneado en la brida sin
electrónica BPG402-S
°C
80
80
Tensión de alimentación
V (dc)
+20 … +28
+20 … +28
Tensión de alimentación
A (dc)
ื
ื
0 … +10
Señal de salida analógica (4)
Señal de salida
V
0 … +10
Log / lin del rango de medida
V
+1 … +10
Rango de medidas log / lin
V
Señal de error
V
0 … +9
0.2 / 0.3 / 0.4 / 0.5 / 0.6
> +10
1
1
Señal de salida analógica (4)
Tensión frente a presión
2
volts per decade
BAG402 Medium to Ultra-High Vacuum Gauge
ESPECIFICACIONES
Tipo
BAG402-Sx
BAG402
10
10
mantissa / exponent
none
1
none
Señal de salida analógica (4)
Impedancia de carga, mín.
Nവ
Señal de salida analógica (4)
Salida analógica secundaria
Relé de punto de referencia
Número de puntos de
referencia
Contacto de relé
n.o., potential free
Relé de punto de referencia
Rango
mbar
™೜೚ಹ™೜²
Relé de punto de referencia
Histéresis
% of reading
10
V (dc)
ื
A (dc)
ื
Relé de punto de referencia
Caudal del contacto
Relé de punto de referencia
Caudal del contacto
Funciones digitales
degas and emission
degas and emission
Interfaz (digital) (2)
RS232C
Diagnosis port
Control de emisiones
manual
manual
two YtೣO೤coated Ir
two YtೣO೤coated Ir
LED / relay
LED / relay
D-Sub, 15-pin, male
D-Sub, 9-pin, male
100 (330)
100 (330)
Filamento
Estado / relé del filamento
Conexión eléctrica
Longitud del cable, máx. (3)
m (ft.)
Materiales expuestos al vacío
YtೣO೤Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, YtೣO೤Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe,
NiCr, stainless steel, glass
NiCr, stainless steel, glass
Volumen interno KF / CF
cm³ (in.³)
Peso KF / CF
g
Grado de protección
24 (1.46) / 34 (2.1)
24 (1.46) / 34 (2.1)
450 / 710
450 / 710
IP30
IP30
EtherCAT
bff11687-43be-43c8-8953efd97ebeb2cd
Las especificaciones estarán
disponibles en breve
3
BAG402 Medium to Ultra-High Vacuum Gauge
none
protocol specialized for
EtherCAT
ESPECIFICACIONES
Tipo
BAG402-Sx
Communication standards
ETG.5003 Part 1
"Semiconductor Device
Profile" ETG.5003 Part 2080
"Specific Device Profile:
Vacuum Pressure Gauge"
Node address
Explicit Device Identification
Physical layer
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions EtherCAT
BAG402
read pressure, select units:
Torr, mbar, Pa emission
control, degas function
monitor gauge status,
filament status safe state
allows definition of behavior
in case of error detailed alarm
and warning
Process data
Fixed PDO mapping and
configurable PDO mapping
Mailbox (CoE)
SDO requests, responses
and information
EtherCAT connector
RJ45, 8-pin (socket), IN and
OUT
Cable
shielded Ethernet CAT5e or
higher
EtherCAT
Cable length
m (ft.)
ื
1) Precisión reducida durante degas
2) No está permitido usar de manera simultánea la serie
de controladores RS232C o VGC40x y bus de campo
3) De utilizar RS232C, use la versión DSUB15 con una
longitud máxima de <30m
4) Mantissa +0,8 … +10 V lineal y salida secundaria +1 …
+10 V exponentp>
PIEZAS DE REPUESTO
BAG402-Sx
BAG402
Repuesto cabezal del sensor BAG402 DN 25 ISO-KF
354-484
354-484
Repuesto cabezal del sensor BAG402 DN 40 CF-R
354-485
354-485
4
BAG402 Medium to Ultra-High Vacuum Gauge
ACCESORIOS
BAG402-Sx
BAG402
211-113
211-113
-
303-333
Placa para BPG400
353-512
353-512
Power supply BPG400 24VDC
353-511
-
Anillo de centrado con placa DN 25 KF
Diagnostic cable 1.9m (P3)
DIMENSIONES
www.inficon.com
[email protected]
Debido a nuestro programa continuo de mejoras en los productos, las especificaciones están sujetas a modificaciones sin previo aviso.
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(2014-08)
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